上交大研制出高速硅基微環電光調制器，其調制速率高達30Gbps

該研究在提高光電器件性能的基礎上降低器件的功耗，其功耗只有100 fJ bit。

通信領域，三大關鍵要素之一就是調制，它主要就是對信號源的信息進行處理使其適合于信道傳輸?，F在出于對信號傳輸速度的要求，電信號已經遠遠不能滿足，行業內多開始對光信號的調制和傳輸進行研究。

電光調制器

目前，在信號調制器的選擇上，電光調制器是光通訊學術界和產業界普遍關注的熱點。近日，上海交通大學研究團隊基于先進電子材料與器件（AEMD）平臺設備和加工條件，成功研制出了高速硅基微環電光調制器，最高調制速率達30Gbps。

硅是微電子器件制造應用中最廣泛的材料，硅集成電路的應用改變了當代世界的面貌，也改變了人們的生活方式。但是，一般硅集成電路只限于處理電信號，對光信號的處理顯得無能為力。硅基光電子器件因工藝與傳統CMOS工藝兼容，可實現低成本的光電子器件大規模集成，因而成為研究熱點。

此次，上交大研制出的調制器采用了220nm硅基脊形波導的微環諧振腔，加工工藝涉及電子束直寫光刻、離子注入、等離子增強化學氣相沉積、反應離子刻蝕以及多靶磁控濺射等多步微納加工工藝技術。

除了緊湊的外形，研究人員還通過在微環波導上嵌入PN結，實現了載流子耗盡型高速微環電光調制器。實驗中，研究人員通過計算得到，該器件的交流功耗在100 fJ/bit左右，比現有常見電光調制器的功耗水平低一個數量級。

不同調制速率下的眼圖

此次硅基微環電光調制器流片（流水線芯片）的研制成功為我國低功耗、緊湊電光調制器的研究提供了有力的支撐。

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